1898年W.維恩用電場(chǎng)和磁場(chǎng)使正離子束發(fā)生偏轉(zhuǎn)時(shí)發(fā)現(xiàn)，電荷相同時(shí)，質(zhì)量小的離子偏轉(zhuǎn)得多，質(zhì)量大的離子偏轉(zhuǎn)得少。

1913年J·J·湯姆孫和F·W·阿斯頓用磁偏轉(zhuǎn)儀證實(shí)氖有兩種同位素[kg1]Ne和[kg1]Ne阿斯頓于1919年制成一臺(tái)能分辨一百分之一質(zhì)量單位的質(zhì)譜計(jì)，用來(lái)測(cè)定同位素的相對(duì)豐度，鑒定了許多同位素。醫(yī)|學(xué)教育網(wǎng)搜集整理但到1940年以前質(zhì)譜計(jì)還只用于氣體分析和測(cè)定化學(xué)元素的穩(wěn)定同位素。

后來(lái)，質(zhì)譜法用來(lái)對(duì)石油餾分中的復(fù)雜烴類混合物進(jìn)行分析，并證實(shí)了復(fù)雜分子能產(chǎn)生確定的能夠重復(fù)的質(zhì)譜之后，才將質(zhì)譜法用于測(cè)定有機(jī)化合物的結(jié)構(gòu)，開拓了有機(jī)質(zhì)譜的新領(lǐng)域。